平整度（也稱平直度）是機械密封圈的一項重要質量指標，要求在0.0009mm以內。這樣的數量級不能用普通測量工具測量。準確而快速的方法是光學干涉法。它需要一個光學平面晶體和單色光源，通常是鈉光。檢查時，將平板晶體放在待檢查的機械密封端面上，并在上斜面用鈉燈照射（圖15），檢查干涉條紋的數量。

鈉光的波長為0.6μm。每個干涉條紋為半個波長，即一個干涉條紋為0.3μm。機械密封面的平整度可通過干涉條紋的數量來確定。